Applikationsunterstützung / Prozessunterstützung

Wir haben die neuesten Versionen unserer Plasmasysteme in unseren Anwendungslabors in Wettenberg nahe Frankfurt/M. und Jena bzw. in Corona, Kalifornien, USA, installiert. Diese drei Stationen helfen uns, unsere Kunden bei Anwendungsproblemen oder bei der Entwicklung von Prozessen für neue Anwendungen zu unterstützen.

In unserem Front End Labor betreiben wir einen Reinraum der Klasse 100, in dem sowohl unsere neuesten Batchsysteme als auch die Einzelscheibenanlagen in verschiedenen Konfigurationen für das Entfernen von Fotolack oder das Entspannungsätzen in Betrieb sind.

Im Backend Labor betreiben wir ebenfalls die Batchsysteme und Plasmasysteme für Einzelstreifen, sowohl mit Mikrowellenanregung als auch mit Anregung über 13,56 MHz. Zudem steht hier das Plasmasystem für die Kantenätzung von Solarzellen.

Die Anwendungsunterstützung für die Metrologiesysteme mit Laser bzw. Oberflächenkontamination erfolgt in unseren Labors in Jena, für die Ultraschall-Inspektionssysteme in Westhausen bei Ulm.

Unser erfahrenes Applikationsteam steht Ihnen gern für Ihre Fragen zur Verfügung. Bitte kontaktieren Sie uns mit Ihren Problemstellungen, damit wir Ihnen die entsprechende Lösung für die gewünschte Anwendung anbieten können – entweder in unserem Labor oder direkt bei Ihnen vor Ort.

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PVA MPS GmbH
Metrology & Plasma Solutions GmbH

Im Westpark 10 - 12
D-35435 Wettenberg

Telefon: +49 (0) 641/68690-0
Fax: +49 (0) 641/68690-800

E-Mail Bereich Plasma: Plasma-info@pvatepla.com
E-Mail Bereich Laser: Laser-info@pvatepla.com
E-Mail Bereich VPD: VPD-info@pvatepla.com
Web: www.pvatepla-mps.com