Unsere Anlagen zur Analyse von Eigenspannungszuständen
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Transmissions-Dunkelfeld-Polariskop SIRD Stressmessung
SIRD (Scanning InfraRed Depolarization) System ist ein so genanntes Transmissions-Dunkelfeld-Polariskop. Bei seiner Nutzung durchstrahlt ein fest positionierter, linear polarisierter Laserstrahl den zu untersuchenden Wafer. Ist dessen Kristallstruktur perfekt und spannungsfrei, ändert sich die Polarisation des Laserstahls nicht. Liegen aber Scherspannungen oder Defekte im Kristall vor, erfährt der Laserstrahl eine Depolarisation, die durch spannungsinduzierte Doppelbrechung verursacht wird.
Die Funktion im Überblick:
- Das SIRD arbeitet ähnlich wie ein Plattenspieler: der Wafer dreht sich auf einem Rotationstisch und wird diskontinuierlich oder kontinuierlich (spiral mode) in Radiusrichtung verschoben
- Aufnahme der Daten nach einem voreingestellten Messrezept; Minimal- und Maximalradius sind jeweils frei wählbar
- Die Messzeit wird durch die gewählte laterale Auflösung (≥50µm) und die Abtastgeschwindigkeit (max. ca. 1 cm2 s-1) bestimmt
- Die wichtigsten Messergebnisse liegen als Maps von Depolarisation und Transmission vor
SIRD arbeitet nach dem ARD (Alternating Retarder Depolarization) -Prinzip. Dies erlaubt die Diskriminierung von Depolarisationsanteilen, die nicht durch Doppelbrechung verursacht werden. Dadurch ist die Visualisierung selbst kleinster Spannungsdifferenzen (>100 Pa) möglich.
SIRD Anwendnungsbeispiele:
Kristallzuchtwirbel in Czochralski Silizium 
Randdefekte nach Epitaxieprozessen in Silizium 
Vergleitungslinien von GalliumNitrid auf Silizium 
Maschinenabdrücke in Silizium
