Metrology & Plasma Solutions

Metrology & Plasma Solutions

PVA Metrology & Plasma Solutions – die Anwendungsexperten für neue Technologien bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen.

Unsere Kernkompetenz ist das Verstehen der Vorgänge während der Herstellung von Halbleiter-, mikro-mechanischen und opto-elektronischen Bauelementen. Damit unterstützen wir unsere Kunden mit Plasma Prozessen sowie Analyseverfahren mit Laser-basierte Messungen und VPD Verfahren.

Unsere Produkte

Batch Wafer Systeme

 

Einzelwaferanlagen

 

Batch Packaging Systeme

 

Strip Type Systeme

 

Metrologiesysteme Laser

 

Metrologiesysteme VPD

 

Technologien / für höchste Ansprüche

Für jeden Anwendungsbereich die passende Lösung

Plasmasysteme für die Halbleiterindustrie

 

Metrologiesysteme für eine effiziente Produktion

 

Defektanalyse

 

Nachweis von Kontaminationen auf Waferoberflächen

 

Oberflächenreinigung

 

Unsere Märkte / Lösungen für Industrie

Waferhersteller

  • Hohe Bedeutung der Beurteilung der Qualität bei der Herstellung von Wafern
  • Frühzeitige Feststellung von Mägeln reduziert die Herstellungskosten
  • Weltweiter Einsatz der Laser- & VPD Systeme

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Chiphersteller

  • Spezielle Plasma-Systeme zur Erzeugung der erfolgreichen Sauberkeit bei der Herstellung von komplexen elektronischen Komponenten
  • Nachweis der Sauberkeit und Erkennung von Defekten durch Lasersysteme

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Semiconductor Packaging

  • Vereinzelung der auf dem Wafer befindlichen Komponenten; Verpackung in die verschiedensten Gehäuseformen
  • Hohe Bedeutung der Haftung von den verwendeten Kunststoffen
  • Ausrichtung der Plasma-Systeme auf die individuellen Märkte

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Aktuelles

Hauptversammlung der PVA TePla AG 2023

Hauptversammlung der PVA TePla AG beschließt Erweiterung und wählt Dr. Myriam Jahn in den Aufsichtsrat

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PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH
Im Westpark 10 - 12
D-35435 Wettenberg

Telefon: +49 (0) 641/68690-0
Fax: +49 (0) 641/68690-800

E-Mail Bereich Plasma: Plasma-info@pvatepla.com
E-Mail Bereich Laser: Laser-info@pvatepla.com
E-Mail Bereich VPD: VPD-info@pvatepla.com
Web: www.pvatepla-mps.com

Service-Kontakt

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E-Mail Bereich Plasma: Service.plasma.mps@pvatepla.com
E-Mail Bereich Laser: Service.laser.mps@pvatepla.com
E-Mail Bereich VPD: Service.vpd.mps@pvatepla.com
Web: www.pvatepla-mps.com

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