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• 1. Über PVA TePla MPS  
  Über PVA MPS PVA Metrology & Plasma Solutions – die Anwendungsexperten für neue Technologien bei der Herstellung von Halbleiter-Bauelementen. Unsere Kernkompetenz ist das Verstehen der…  
• 2. Zertifizierung  
  ZertifizierungHier können Sie das aktuelle Dokument zur Zertifizierung nach ISO 9001:2015 herunterladen.  
• 3. PVA MPS  
  Aktuelles Termine und Messen alle Meldungen anzeigenSemiconductor Packaging Vereinzelung der auf dem Wafer befindlichen Komponenten; Verpackung in die verschiedensten Gehäuseformen Hohe…  
• 4. Applikationsunterstützung  
  Applikationsunterstützung Wir haben die neuesten Versionen unserer Plasmasysteme in unseren Anwendungslabors in Wettenberg nahe Frankfurt/M. und Jena bzw. in Corona, Kalifornien, USA, installiert.…  
• 5. Auftragsmessung  
  Auftragsmessung Das Jenaer Applikationslabor führt auf Kundenwunsch Messungen an Wafern und Bauelementestrukturen verschiedener Materialien (Si, GaAs, GaN, SiC, InP etc.) durch. Dabei…  
• 6. Glossar  
  Bei der Herstellung dreidimensionaler Strukturen werden sogenannte Opferschichten genutzt, die während der Entstehung der Elemente als Stützgerüst fungieren. Nach der Fertigstellung der…  
• 7. Übersicht  
  Plasmaprozesse Bonding Unsere speziellen Reinigungsprozesse sind weit verbreitet in der Anwendung vor dem Drahtbonden oder dem Vergießen von Bauelementen, als Reinigung vor dem Unterfüllen von…  
• 8. Batch Wafer Systeme  
  Kontaktieren Sie uns Wie können wir Sie unterstützen? Plasma-info@pvatepla.comPlasmaanlage GIGAbatch 360/380P Die Plasmaanlage GIGAbatch 360P und 380P eignen sich für die anspruchsvollsten…  
• 9. Batch Packaging Systeme  
  Batch Packaging SystemePlasmaanlage GIGA 690 Die Plasmaanlage GIGA 690 ist das Nachfolgemodel der PS400 und PS660 und hat sich seit ihrer Markteinführung im Jahre 2008 weltweit hundertfach…  
• 10. Einzel-Wafer Anlagen  
  Plasma System GIGAfab Gen2 Das GIGAfab Gen 2 System nutzt ebenfalls die Technologie der planaren Mikrowellenquelle, allerdings auf die Größe der Flachbildschirme angepasst. Die Hauptanwendungen…